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产品展示
AP-MKC series
产品型号:AP-MKC
产品产地:Japan
发布日期:2020-09-23
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关 键 词:半导体制造及检测装、SEM/TEM、激光加工装置、精密STAGE装置、精密制造等
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详细介绍

概要

● 空气弹簧 + 叠层橡胶组成的结构,其固有频率纵向可达到 1.6 Hz

● 通过UNIT type将整体模型高度标准化为220 mm

● 反复精密度 ±100 以内,安装有双层式高度调节阀门

● 对10 Hz以下低频率的振动控制效果很突出

特征

构成及式样

Model

AP-230 MKC

AP-270 MKC

AP-330 MKC

Natural Frequency

Vertical : 1.5 Hz ~ 2.0 Hz / Horizontal : 1.0 Hz ~ 1.8 Hz

Isolation

Air Suspension

Damping

Damping by Orifice

Leveling

Automatic Leveling by mechanical air valve (Positioning Tolerance : ±100 )

Dimension (mm)

330 x 300 x 220

320 x 320 x 220

370 x 370 x 220

Weight (kg/unit)

46 kg

56 kg

72 kg

Payload (kgf/4unit)

6,200 kgf

8,600 kgf

13,000 kgf

D x E (mm)

270 x 270

290 x 290

340 x 340

ΦF (mm)

ΦF 13

ΦF 13

ΦF 13

Air Pressure (MPa)

0.5 MPa

应用领域及适用实例

● 半导体制造及检测装备● FPD 制造及检测装备

● 电子显微镜及原子显微镜 (SEM, TEM) )

● 激光加工装置

● 精密STAGE装置● 精密制造装置

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