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概要
● 空气弹簧 + 叠层橡胶组成的结构，其固有频率纵向可达到 1.6 Hz
● 通过UNIT type将整体模型高度标准化为220 mm
● 反复精密度 ±100 以内，安装有双层式高度调节阀门
● 对10 Hz以下低频率的振动控制效果很突出
特征
构成及式样
Model | AP-230 MKC | AP-270 MKC | AP-330 MKC |
Natural Frequency | Vertical : 1.5 Hz ~ 2.0 Hz / Horizontal : 1.0 Hz ~ 1.8 Hz |
Isolation | Air Suspension |
Damping | Damping by Orifice |
Leveling | Automatic Leveling by mechanical air valve (Positioning Tolerance : ±100 ) |
Dimension (mm) | 330 x 300 x 220 | 320 x 320 x 220 | 370 x 370 x 220 |
Weight (kg/unit) | 46 kg | 56 kg | 72 kg |
Payload (kgf/4unit) | 6,200 kgf | 8,600 kgf | 13,000 kgf |
D x E (mm) | 270 x 270 | 290 x 290 | 340 x 340 |
ΦF (mm) | ΦF 13 | ΦF 13 | ΦF 13 |
Air Pressure (MPa) | 0.5 MPa |
应用领域及适用实例
● 半导体制造及检测装备● FPD 制造及检测装备
● 电子显微镜及原子显微镜 (SEM, TEM) )
● 激光加工装置
● 精密STAGE装置● 精密制造装置
产品外形图
