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产品展示
主动隔震System MAPS series
产品型号:maps
产品产地:japan
发布日期:2020-09-23
浏览次数:
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关 键 词:SEM/TEM、EUV、半导体设备及检查设备等高精度设备防微振装置
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详细介绍

概要

● 6自由度振动应答

● Passive Isolator中10 Hz 以下低频率不会发生共振现象

● Feedback 控制 ,使用Feedforward 来控制Stage 等的移动荷载将晃动值最小化● 精密度极高

● 将UNIT type模型高度标准化为 191 mm

特征

构成

● MRZ Actuator 4 units

● Controller & Amplifier 1 set

● Air Pressure & Regulator 1 set

● Electric Cables 1 set

● Air Tubes 1 set

● User’ s Manual 1 pcs


式样

Model

MAPS-008

MAPS-016

MAPS-033

MAPS-065

MAPS-013

MAPS-240

Paylode(kN)

(kgf/4 unit)

4 ~ 8

(400 ~ 800)

4 ~ 8

(400 ~ 800)

16 ~ 33

(1600 ~ 3400)

33 ~ 65

(3400 ~ 6600)

33 ~ 65

(3400 ~ 6600)

130 ~ 240

(13300 ~ 24500)

Dimension (mm)

235X235X130

296X296X140

350X350X150

350X350X150

600X480X190

710X600X190

Weight (kg/Unit)

13 kg

42 kg

63 kg

110 kg

1802 kg

230 kg

Air Pressure (MPa)

0.6 MPa ~ 0.8 MPa (Dry Clean Air)

Air Consumption

45 ~ 65 l/min (Standard)

120 ~ 170 l/min (Standard)

120 l/min (Max)

300 l/min (Max)

Power Supply Voltage

100 V~240 V (AC,单向, 50/60 Hz)



Power Supply Voltage

~0.050 mm

6Degrees of Freedom

6

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